全自动氦质谱检漏仪作为高精度检测设备，在航空航天、半导体制造、核工业等领域发挥着重要作用。为确保其长期稳定性和准确性，定期的校准与维护是不可少的。以下将从校准和维护两个方面详细阐述全自动氦质谱检漏仪的保养方法。 校准
1.校准周期与标准
根据制造商的推荐和仪器的使用频率，通常应定期（如每季度或每年）对氦质谱检漏仪进行校准。校准的目的是确保仪器的测量精度符合标准要求。校准应使用具有已知漏率的标准漏孔，其漏率应在仪器的测量范围内，并且精度得到保证。
2.校准环境与条件
校准应在稳定的环境温度和湿度条件下进行，一般建议环境温度为(23±5)℃，相对湿度不大于80%，且校准过程中室温变化不超过±1℃。同时，校准设备周围应无明显的温差、气流和强电磁场等外部干扰，以保证校准结果的准确性。
3.校准步骤
-准备阶段：确保仪器处于预热状态，所有连接部件安装正确，无漏气现象。
-零点校准：首先进行零点校准，即在没有氦气泄漏的情况下，调整仪器使其示值为零。
-标准漏孔校准：将已知漏率的标准漏孔接入检漏仪系统，待示值稳定后读取并记录数据。重复测量多次（一般三次），取平均值以减少误差。
-数据处理：根据标准漏孔的漏率和检漏仪的示值计算示值误差，并进行必要的温度修正。如果误差超出允许范围，需进行进一步的调整或维修。
4.自校功能
部分全自动氦质谱检漏仪具备自校功能。在发现示值误差较大时，可利用此功能进行内部校准，以恢复仪器的精度。
维护
1.清洁保养
-外壳与表面：定期使用柔软的布或纸巾擦拭仪器外壳和控制面板，去除灰尘和污垢。避免使用刺激性和腐蚀性的化学物品，以防损坏表面材质或影响仪器性能。
-真空系统：保持真空腔体、真空管道、真空阀门的清洁干燥。定期清洁这些部件，防止粉尘、颗粒物等污染物进入并污染真空系统。
2.氦气供应检查
确保氦气供应充足，并且供应管路未受损。检查供应系统的压力表和流量计，确保其正常工作。如发现异常，及时修理或更换。
3.真空泵维护
-定期检查真空泵泵油位和颜色，如发现油位过低或油色变深，应及时更换泵油。
-定期进行前级真空泵的换油和深度保养，以及电磁阀组的超声清洗，确保真空泵的正常运行。
4.密封性能检查
定期检查真空系统的密封性能和高压密封接口是否老化，并及时更换老化的密封件。这有助于防止漏气并维持真空系统的性能。
5.探测器保护
漏气探测器是氦质谱检漏仪的核心部件之一，需特别保护。避免敲击或损坏探测器，保持其表面干净和无杂质。定期检查探测器的工作状态，如有问题及时维修或更换。
6.软件与固件更新
定期关注制造商发布的最新软件和固件版本，并根据需要下载并安装。这有助于提升仪器的性能和稳定性，并修复已知的问题。
7.储存与运输
在不使用氦质谱检漏仪时，注意妥善储存和运输。避免长时间曝露在潮湿、高温和尘埃环境中，以防止仪器受损和性能下降。使用适当的包装和保护材料，确保仪器在运输过程中不受损坏。
通过遵循上述校准与维护步骤，可以确保全自动氦质谱检漏仪的长期稳定性和准确性，延长其使用寿命，并为用户提供可靠的漏气检测服务。
